傳統的激光干涉儀通常需要在被測目標上設置靶鏡，以反射測量光線獲得高精度的測量結果。鐳測科技推出的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實現高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量。 除可用于傳統激光干涉儀適用的測量目標外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標測量，如液面高度、半導體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數、振動等。
        
        以下是本產品獨特的技術或特點：

1、高靈敏度，可實現對非配合目標的非接觸式測量
2、準共路技術有效抑制儀器內部環境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程，測量結果可以溯源。

       LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達納米量級，量程可達2m，如果加擴束鏡，可達數米。它同干涉儀一樣，測量結果可以溯源到光波長，從而無需標定。
產品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成。

（欲了解更多信息，請閱覽本網站解決方案欄目中的：非接觸式激光干涉儀（激光回饋干涉儀）  ）

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

圣路易斯華盛頓大學用于顯微鏡位移測量

 

回饋干涉儀用戶手冊2019.pdf

鐳測激光干涉儀簡介-2022.pdf

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